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北京大學(xué)申請高動態(tài)穩(wěn)定性GaN器件專利,提高GaN HEMT的動態(tài)穩(wěn)定性

發(fā)表于:2024-01-17 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

 據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告,北京大學(xué)申請一項(xiàng)名為“一種高動態(tài)穩(wěn)定性的GaN器件“,公開號CN117410327A,申請日期為2023年1月。專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種高動態(tài)穩(wěn)定性的GaN器件,在GaN HEMT的柵極帽層上采用歐姆接觸電極?介質(zhì)層?柵極互連金屬的結(jié)構(gòu),該歐姆接觸電極至少與第一耗盡型器件或電阻相連。在器件開啟過程中,歐姆接觸電極的存在能夠消除閾值電壓漂移,在柵極電壓進(jìn)一步增大時(shí),由第一耗盡型器件或電阻承受過高的柵極電壓,有效抑制柵極電流;且柵極互連金屬與歐姆接觸電極之間通過介電層形成一個(gè)大電容,從而提高柵極的驅(qū)動速率。所述GaN器件進(jìn)一步包括第二耗盡型器件,以在關(guān)斷過程中釋放GaN HEMT柵極帽層中積累的正電荷。本發(fā)明可以增大GaN HEMT的驅(qū)動電壓擺幅,降低驅(qū)動電流,消除閾值電壓漂移現(xiàn)象,從而提高GaN HEMT的動態(tài)穩(wěn)定性。

(來源:金融界)

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